SJ/T 11505-2015 蓝宝石单晶抛光片规范

SJ/T 11505-2015.Sapphire single crystal polished wafers specification. 1范围 SJ/T 11505规定了衬底和红外探测器窗口用蓝宝石单晶抛光片的技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。 SJ/T 11505适用于泡生法和直拉法生长的蓝宝石单品拗光片,其它方法生长的蓝宝石单晶抛光片也可参照本标准。 2规范性引用文件 下列文件对于本文化的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件仅物唯国期的版本适用于本文件。凡是不注日期的是用文件我最新服本 (也括所有的修改用用于本文件。 GB/T 1555半体更晶品的X衔射测定力法 GB/T 2828/逐批检查计故抽样程序及抽样表 GB/T 6618生片享度和和总环度变化测试方法 GB/T 66片李曲测 GB/T 6621砧抛光片表面平整度测试方法 GB/T 662抛光片表面质疑目测检验力法 GB/T 14140础片直径测o GB/T 1424体材料术语 SJ/T 11396氮中保些发光二极管蓝宝石村底片 SJ/T 20387红处用项醫用蓝宝石窗口性能试验方法 3术语和定义 GB/T 14264界定的术语和定义适 4要求 4.1衬底抛光片 蓝宝石单晶衬底抛光片的要求见SJ/T 11396。 4.2窗口抛光片 4.2.1材料 蓝宝石窗口所用材料为蓝宝石单晶，其化学组成为Al2O3蓝宝石单晶性能应符合如下要求: a)纯度应不低于99.995%: b)衍射摇摆 曲线半峰宽度应不大于15弧秒: