SJ/T 11638-2016 电子化学品中颗粒的测试方法

SJ/T 11638-2016.Test method of particle in electronic chemicals. 1范围 SJ/T 11638规定了用激光粒子计数法测定液体电子化学品中颗粒的方法。 SJ/T 11638适用于液体电子化学品中颗粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径有0.1 μm~1.0 μm可选。测定的电子化学品的颗粒浓度为(0~10 000 )每毫升/个，其他粒径的可参考执行。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注8期的版本适用于本文件。凡是不注8期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 11446.1电 子级水 GB/T 11446.3电子级水测试方法通则 GB/T 11446.9电子级水中微粒的仪器测试方法 GB 50073洁净厂 房设计规范. 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件 3.1颗粒particle 除气体外，分散在液体电子化学品中并和化学品形成-一个均匀液相的物质。 4方法原理 按GB/T 1446.9规定，- -束经聚焦的激光垂直于液体电子化学品流向方向入射，化学品中的颗粒将产生光散射效应，散射光的强度与颗粒的大小具有-定的关系， 散射光经聚光镜会聚到光电倍增管,将光信号变成电脉冲，电脉冲的数目和幅度分别与化学品中颗粒的数目和直径成正比，电脉冲信号经放大后，输入微机，再经微机处理后，显示或打印检测结果。 本方法的原理方框图，见图1.