SJ/T 11637-2016 电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则

SJ/T 11637-2016.Determination of metal ions in electronic chemicals Inductively coupled plasma mass spectrometry method. 1范围 SJ/T 11637规定了用电感耦合等离子体质谱法测定电子化学品中金属离子的测定方法。 SJ/T 11637适用于电子化学品中多种金属元素的测定。 SJ/T 11637适用于痕量测定，推荐直接进样检测的浓度小于1000 u gkg.本标准不适用于固体直接进样。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 602化学试剂杂质测定用标准 溶液的制备 GB/T 4842金 GB/T 11446.1电子级水 GB 50073洁净厂房设计规范 JJF 1159四级杆电感耦合 等离子体质谱仪校准规范 3术语和定义 JJF 1159中界定的术语和定义适用于本文件。 4方法原理 试样溶液经雾化系统雾化后形成气溶胶，由载气带入等离子体内，在高温和惰性氩气气氛中蒸发、汽化、解离和电离，转化成带正电荷的离子，经离子采集系统进入质谱仪，按离子的质荷比进行分离，各离子质谱峰的强度与样品中相应离子浓度成正比，可对各元素进行定性或定量分析。 5试剂和材料 5.1实验用水 . 符合GB/T 1446.1规定的EW- I级电子级水。 5.2超纯硝酸 金属离子含量不大于1μg/L.