SJ/T 11628-2016 太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法

SJ/T 11628-2016.Online test methods for geometry and electrical characterizations of silicon wafers for solar cells. 1范围 SJ/T 11628规定了太阳能电池用硅片(以下简称硅片)尺寸及电学表征的非接触在线测试方法。 SJ/T 11628适用于太阳能电池用硅片的尺寸及电学表征在线测试，如应用于其他样品或参数，需经相关各方协商。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应期是必不可少的。凡是注日期的引用文作,改注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文徐其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文中? GB/T 14264华是体材科术酒 GB/T 26068硬片载流子没合寿命的无接触微波反射光电导安减测试方法 GB/T 30860太阳能电池用硅片厚度及总原变化测试方法， SJ/T 11627天阳能电池手建片电阳率在线测试方法 SJ/T 11630大阳能电池用生为几何尺寸测试方法 3术语和定 GB/T 14264界里的术语和定义适用于本文件 4方法提要 4.1 几何尺寸拍照法、 在成像系统固定不变的情说下物体及其图像的儿何尺在的围定的一对应关系。采用相机获取硅片的图像，通过已经标定好的上还对应关系，公析所获得的硅中图像即可推算出所测硅片的边长、对角线长度、邻边垂直度的几何尺寸参数。根据拍摄方法的不同，可将测量用的相机分为阵列式相机和线性相机两种。其中,阵列式相机拍摄图像时要求硅片作短暂的停顿，线性相机则可直接拍摄运动状态下的硅片。 4.2 厚度及总厚度变化 电容法或光学法 测量探头是利用电容式、光学式等非接触技术测量探头和硅片表面之间相对距离的传感器，成对的、分别位于硅片上方和下方的探头可以测量出硅片上、下表面相对于同- -侧探头的距离。由己知的探头间距可以计算出硅片被测点当前的厚度。当硅片匀速穿过该测试位置时，测量探头在硅片上的测量位置形成一条扫描路径，最后给出硅片在扫描路径上的若干厚度值，由其中的最大值减去最小值可得到总厚度变化值。