JJG 28—2019 平晶检定规程

JJG 28—2019. 1范围 JJG 28适用于平晶(包括平面平品、平行平品和长平晶)的首次检定、后续检定和使用中检查。 2 引用文件 JJG 28引用下列文件: GB/T 903——2019无色光学玻璃JB/ T 7401—1994平面平品.JB/ T 7402—1994平行平品 ISO 14999-4:2015 (E）光学和光子学光学元件和光学系统的干涉仪测量-第四章:在ISO10110中所明确规定的公差说明和评价(Optics and photonics Interferometricmeasurement of optical elements and optical systems - Part 4: Interpretation andevaluation of tolerances specified in Iso 1011o) 。 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规程;凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本规程。 3概述 平晶是以光波干涉法测量亚面度、直线度、研合性以及平行度的计量器具，包括平面平品、平行平品和长平品。平面平晶按工作面数可分为单工作面平品和双工作面平品，其外形示意见图1，按用途又可分为标准平品和工作平品两大类，标准平品分为一、二等，工作平品分为一、二级。 6.3检定方法 6.3.1 外观及表面质量 以黑色屏幕为背景，在(8~15)W日光灯照射下，借助4~6倍放大镜，目力观察。 6.3.2外形尺寸 平行平晶中心长度尺寸H用5等量块在光学计土进行比较测量，也可以用测长仪直接测量。其它外形尺寸用游标卡尺进行测量 6.3.3长平品十字刻线位置 在万能工具显微镜上测量。 6.3.4两端面夹角 平面平品两端面夹角用百分表和专用台架或表式卡规测量。测量时，在任意直径方向两端的读数差(端面间的厚度)的最大值作为测量结果。 长平品两端面的夹角用分度值为0.02mm 的游标卡尺测量。 6.3.5工作面与圆柱母线的垂直度 用分度值不大于2’的角度规测量。 6.3.6非工作面的平面度 平面平品采用不小于被检平面平品直径的二级平品等厚干涉法测量，长平品用D100mm二级平晶等厚干涉法测量。 6.3.7平行度 用光学计测量时，在四个均匀的直径方向距边缘1mm 的八个点上进行测量，每点测量两次取平均值做为该点测得值，在八个测得值中，取其最大差值作为平行度。 也可用测量不确定度U≤0.2um (k=3或 p=0.99)的其它方法进行测量。 6.3.8工作面的平面度