JJG（军工)165—2019 真空标准漏孔检定规程

JJG（军工)165—2019. 1范围 JJG（军工)165适用于漏率测量范围为(5×10-13~1×10+)Pam3/s的真空标准漏孔的首次检定、后续检定和使用中检查。 2引用文件 本规程引用了下列文件: JF 1001通用计量术语及定义GB/T3163真空技术术语 GB/T 4844 纯氦、高纯氦和超纯氦GB/T 8979纯氮、高纯氮和超纯氮 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规程;凡不注日期的引用文件，其最新版本.(包括所有的修改单)适用于本规程。 3术语和定义 JJF1001和 GB/T 3163界定的及以下术语和定义适用于本规程。 3.1真空标准漏孔 Vacuum Standard Leak 在出口压力低于1kPa，入口压力大于出口压力条件下，提供已知恒定漏率的一种标准漏孔。 4概述 4.1原理 真空标准漏孔根据漏气元件漏气原理不同，可以分为渗透型真空标准漏孔和通道型真空标准漏孔两种。渗透型真空标准漏孔是利用某些物质对某种气体有较高的渗透性而制造的，从而对特定气体产生恒定漏率的一种真空标准漏孔。通道型真空标准漏孔是利用具有 6通用技术要求 6.1外观及附件 外观及附件要求如下: a）被检真空标准漏孔的气室、漏孔阀和连接件完好，无影响正常工作的机械损伤; b）被检真空标准漏孔的型号、名称、出厂编号、标称值、制造厂等标识齐全; c）被检真空标准漏孔附件齐全，包括使用说明书和上个周期检定证书。 6.2工作正常性 被检真空标准漏孔接入标准装置，在真空状态下，漏孔阀开启和关闭后，标准装置给出的漏率信号具有明显变化。 7计量器具控制 7.1 检定条件7.1.1检定设备 检定设备应经过计量技术机构检定合格，并在有效期内。主要检定设备包括: a)(5×10-13~～5×10-9) Pam3/s气体微流量标准装置; 1)漏率范围:(5×10-13~1×10-11) Pam3/s，相对扩展不确定度:U=18%(k-2) ; 2）漏率范围:（1×10il~5×109) Pam3/s，相对扩展不确定度:U=14%(k=2）。 b)(4.9×10-10~5.1×105) Pam3/s 气体微流量标准装置 1）漏率范围:(4.9×10-10~5.0×10-6)Pam3/s，相对扩展不确定度:U.=4.4%(k=2); 2）漏率范围:(5.0×10-6~5.1×105)Pam3/s，相对扩展不确定度: U=2.8%(k-2)。 c)(5.1×10-5～10）Pam3/s 气体微流量标准装置