GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

GB/T 38446-2020.Micro-electromechanical system technology-Test methods for tensile property measurement of strip thin films. 1范围 GB/T 38446规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。 GB/T 38446适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品,也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 26111微机电系统(MEMS)技术术语 3术语和定义 GB/T 26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 弹性模量 modulus of elasticity 材料在弹性变形阶段时,应力与应变的比值。 注:改写GB/T 3102.3-1993,定义3.18.1。 3.2 屈服强度 yield strength Re 当材料呈现屈服现象时,在试验期间达到塑性变形发生而力不增加的应力点。 注1:改写GB/T 228.1-2010,定义3.10.2。 注2:对于屈服现象明显的材料,屈服强度就是材料发生屈服现象时屈服极限的应力;对于屈服现象不明显的材料，屈服强度为应变达到残余应变0.2%时的应力。 3.3 抗拉强度 tensile strength Rm 材料拉断过程中对应的最大应力。 注:改写GB/T 228.1-2010,定义3.10.1。 3.4 挠度 deflection w 样品结构轴线在垂直于轴线方向的线位移或中面在垂直于中面方向的线位移。