SJ 20026-1992 金属氧化物半导体气敏元件测试方法

2022年01月19日 SJ 20026
SJ 20026-1992.Measuring methods for gas sensors of metal. oxide semiconductor. 1范围 1.1主题内容 SJ 20026规定了军用金属氧化物半导体气敏元件(以下简称元件或产品)參数测试方法的基本原理,没有规定这些方法在实际使用时的技术细节,测试时可按相应的详细规范的规定进行。 1.2 适用范围 SJ 20026适用于军用金属氧化物半导体气敏元件气电参数的测试,其它气敏元件亦可参照使用。 2引用文件 GB 3095- -82大气环境质量标准 GB 4475--84敏感元器件名词术语 3定义 3.1符号、代号 本标准的参数符号应按附录B的规定。 4一般要求 4.1 测试箱 a.测试箱 的箱体材料应选择不与检测气体反应的材料; b.箱体容 积应保证测试产品中的每只产品具有不小于1升的体积; c.箱内应设有液体汽化装置、温湿度显示装置和气体搅拌装置. 4.2测试气氛 清洁空气的要求应符合GB3095中规定的二级环境空气标准。采用标定气体检测时,其浓度容许误差应符合表1的规定。 4.7一般注意事项 a.各项参数测量,都应在规定的工作条件下进行; b.连续测试一定数量的产品,必须规定测试时间要求; c.测试前都应规定产品保持在测试条件下的时间长短; d.如果把元件从加功率到进行测试之间的时间加倍,所测得的读数在规定的误差以内变化,则认为产品达到初始稳态; e.把元件置于某一工作状态到进行测试之间的时间加倍,所测得的读数在规定的误差以内变化,则认为产品达到稳态。 5.详细要求 5.1方法1001清洁空气中电阻Ra的测量 5.1.1定义

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