SJ/T 11630-2016 太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法

2022年01月10日 SJ/T 11630
SJ/T 11630-2016.Test method for geometric dimension of silicon wafers for solar cell. 1范围 SJ/T 11630规定了太阳能电池用硅片(以下简称硅片)几何尺寸的测试方法。 SJ/T 11630适用于太阳能电池用硅片几何尺寸的测试。在采用本标准提供的测试方法测试其他类型的样品之前,应由供需双方协商。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的,用是必不可少的。凡是注日期的引用文得。政注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引朋文用,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T 14264 半导体材料术语 GB/T 26071/大国能电池用硅单晶切割片 GB/T 29056 太阳电池用多晶硅片 3术语和定义 GB/T 1426406B7 26071和6/T 29055界定的木语和定义适用于本文件。 4方法原理 4.1本标准采用光学成设法测量硅片的几何尺寸。 由光源提供环境光,在成您系统的视场内形成边缘明暗对比的硅片图您,用是取出硅片的边缘轮廓线。在成像系统的物距和像距固定的情况下,物体与其像对应边长的比例也是固定的,通过对已知边长的硅片成像进而确定图保士单近像素点对应的长度,即可根据图像上各点的坐标计的出其他待测硅片的边长、对角线、领四近直座、倒角宽度和倒角角度等几何尺寸参数。 4.2方形硅片几何尺寸参数的含义则GBYT P9055.D本标准测试的万形硅片几何尺寸参数如图1所示,图像上各点像素坐标位置如图2所示。 4.3准方形硅片几何尺寸参数的含义见GB/T 26071.本标准测试的准方形硅片的几何尺寸参数如图3所示,图像上各点像素坐标位置如图4所示。 4.4其他类型的硅 片也可按照类似的方法计算出待测的几何尺寸参数。

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