SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

SJ/T 31083-2016.Vacuum coating equipment requirements of readiness and methods of inspection assessment. 1范围 SJ/T 31083规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。 SJ/T 31083适用于B0C700-4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 SJ/T 31001- -2016设备完好要求和检查评定方法编写导则 SJ/T 31002- -2016企业设备维护保养通则 3完好要求 3.1主要技术指标 BOC700- 4/G型真空镀膜设备的主要技术指标有: 3.2操作系统 3.2.1设备各操作手柄、开关、按钮动作灵活，定位可靠，标识清楚。 3.2.2各仪表、指示灯、指示正常，触摸屏触摸灵敏，显示正确。 3.3传动系统 3.3.1常温或加热情况下，各传动件均应运行平稳，动作可靠，无异常噪声、抖动、停滞等现象。 3.3.2动密封点密封性好，传动时不得有真空度跳变现象。 3.4真空系统 3.4.1机械泵、 压缩机及冷凝泵(或扩散泵、分子泵)等工作正常，无异常噪声，冷凝泵二级冷头温度小于12K。 3.4.2粗抽阀、 高真空阀、再生阀、冷凝泵充气阀、真空室充气阀( 包括手动阀、气动阀或电磁阀等)