SJ/T 11583-2016 电子陶瓷及其封接气密性测试方法

SJ/T 11583-2016.Test method for electronic ceramic seal and air tightness test. 1范围 SJ/T 11583规定了电子陶瓷材料、已金属化的待封接电子陶瓷或已封接的电真空陶瓷管制品的封接气密性测试原理、测试装置以及测试步骤等内容。 SJ/T 11583适用于电子陶瓷材料，如95瓷98瓷等以及已金属化的电子陶瓷或已封接的电真空陶瓷管制品室温下封接气密性的测试。 2规范性引用文件 下列文件对于本实你的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅出白期的版本适用于本文件。凡是不注日期的可用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 5593电子无器件结构陶瓷材料 GB 9530-198电子陶瓷名词术语 3术语和定义 GB 9530-199界定的以及下则术语和定义适用于本文 3.1 气密性antightnas 表征材料阻北气体埃适的能力。 3.2 漏气率leak rite 单位时间内，气体通过海不浦入真空容器中的气体量。单位为阳s 3.3 灵敏度sensitivity 仪器输出信号的改变量于施加的氮气漏气率之比值。 4测试原理 将试样装在特质的试验配件上，形成腔体，该腔体与氨质谱检漏仪的质谱室相通。用氦气喷吹被检试样表面，如果试样有漏隙，氦气通过漏隙进入质谱室内，部分氦气被电离成带正电荷的离子，这些离子在加速电压及磁场的作用下，按- -定的轨道 半径作圆周运动。在特定的位置上设置收集极，只接收氦离子流。离子流的强度正比于氦在质谱室内的分压，根据离子流强度判定试样漏气与否及漏气率。 5测试装置及材料 5.1 测试装置